Effizientes Wafer-Handling durch modernste Vakuumtechnologie: Senkung der Kosten für Energie- und Betriebsmittel um 40 Prozent

被引：0

作者：

Merkle U. ^{[1
]}

机构：

[1] Busch Vakuumpumpen und Systeme, Germany

来源：

Vakuum in Forschung und Praxis | 2017年 / 29卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1002/vipr.201700665

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

[No abstract available]

引用

收藏

页码：38 / 39

页数：1

相关论文

empty

未找到相关数据