Quantitative NDE of the nano-scaled thin film system using SAM

被引：0

作者：

Park, Ik Keun ^{[1
]}

Park, Tae Sung ^{[1
]}

Miyasaka, Chiaki ^{[2
]}

机构：

[1] Seoul National University of Science and Technology, 172 Gongreung-dong, Nowon-gu, Korea, Republic of

[2] Penn State University, University Park, 16802, United States

来源：

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS | 2012年

关键词：

Compendex;

D O I：

2012 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2012

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Thin films

引用

页码：1742 / 1745