Scanning laser differential-heterodyne interferometer for flying-height measurement

被引：0

作者：

Ngoi, Bryan Kok Ann ^{[1
]}

Venkatakrishnan, Krishnan ^{[1
]}

Tan, Bo ^{[1
]}

机构：

[1] Prec. Eng. Strategic Research Group, Sch. of Mech. and Prod. Engineering, Nanyang Technological University, Nanyang Avenue, Singapore 639798, Singapore

来源：

Applied Optics | 2000年 / 39卷 / 04期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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