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Analysis of air damping force in micro-electro-mechanical system
被引：0
作者：
School of Aerospace Science and Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China
[1
]
机构：
来源：
Dongbei Daxue Xuebao
|
2008年
/
SUPPL.卷
/
4-6期
关键词：
9;
D O I：
暂无
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