Method for determining the angle in two dimension nanoscale: Pitch grating

被引：0

作者：

Department of Mechanical Engineering, National Chiao Tung University, Hsinchu 30010, Taiwan ^{[1
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不详 ^{[2
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机构：

来源：

Jpn. J. Appl. Phys. | / 6 PART 2卷

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Atomic force microscopy

引用