3D micromachining of SU-8 polymer with proton microbeam

被引：0

作者：

Simčič, J. ^{[1
]}

Pelicon, P. ^{[1
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Rupnik, Z. ^{[1
]}

Mihelič, M. ^{[1
]}

Razpet, A. ^{[1
]}

Jenko, D. ^{[1
]}

MačEk, M. ^{[2
]}

机构：

[1] Jozef Stefan Institute, Jamova 39, SI-1001 Ljubljana, Slovenia

[2] Faculty of Electrical Engineering, University of Ljubljana, Trzaška 25, SI-1000 Ljubljana, Slovenia

来源：

Nucl Instrum Methods Phys Res Sect B | 1600年 / 1-4卷 / 479-485期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Deposition - Dosimetry - Irradiation - Microstructure - Polymers - Proton beams - Protons - Scanning electron microscopy - Three dimensional - Throughput

引用