Thin film patterning by laser lift-off

被引：0

作者：

Chen, Xuekang ^{[1
]}

Morimoto, Akiharu ^{[1
]}

Kumeda, Minoru ^{[1
]}

Shimizu, Tatsuo ^{[1
]}

机构：

[1] Dept. of Electric and Electron. Eng., Kanazawa University, Kanazawa 920-8667, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers | 2002年 / 41卷 / 5 A期

关键词：

Laser patterning;

D O I：

10.1143/jjap.41.3099

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3099 / 3100