Reactive sputter deposition of CoCrCuFeNi in nitrogen/argon mixtures

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作者
Dedoncker, R. [1 ]
Djemia, Ph. [2 ]
Radnóczi, G. [3 ]
Tétard, F. [2 ]
Belliard, L. [4 ]
Abadias, G. [5 ]
Martin, N. [6 ]
Depla, D. [1 ]
机构
[1] Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281(S1), Gent,9000, Belgium
[2] Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux (LSPM), UPR 3407 CNRS, Université Paris 13, Sorbonne Paris Cité, 99 Avenue J.B. Clément, Villetaneuse,93430, France
[3] Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Konkoly-Thege M. u. 29-33, Budapest,H-1121, Hungary
[4] Sorbonne Université, Institut des NanoSciences de Paris UMR 7855, 4 place Jussieu, Cedex 05, Paris,75252, France
[5] Institut Pprime, Département Physique et Mécanique des Matériaux, UPR 3346 CNRS, Université de Poitiers, Chasseneuil-Futuroscope,86962, France
[6] Institut FEMTO-ST, UMR 6174 CNRS, Université Bourgogne Franche-Comté, 15B, Avenue des moutboucous, Besançon Cedex,F-25030, France
关键词
D O I
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