共 15 条
- [1] Bacal M., Wada M., Appl. Phys. Rev, 2, (2015)
- [2] Schiesko L., Et al., Plasma Source Sci. Technol, 17, (2008)
- [3] Belchenko Yu.I., Kuznetsov G.I., Grigoryev E.A., Rev. Sci. Instrum, 71, (2000)
- [4] Sasao M., Et al., Appl. Ohys. Express, 11, (2018)
- [5] Nishiura M., Et al., Rev. Sci. Instrum, 73, (2002)
- [6] Bacal M., Wada M., AIP Conf. Proc, 1869, (2017)
- [7] Masaki S., Maeshiro K., Tsumori K., Wada M., AIP Conf. Proc, 2052, (2018)
- [8] Leung K.N., Bacal M., Rev. Sci. Instrum, 55, (1984)
- [9] Leung K.N., Ehlers K.W., Bacal M., Rev. Sci. Instrum, 54, (1983)
- [10] Takahashi H., Kasuya T., Wada M., Rev. Sci. Instrum, 77, (2006)