Scanning error detection and compensation algorithm for white-light interferometry

被引：0

作者：

Cui, Kaihua ^{[1
]}

Liu, Qian ^{[1
]}

Huang, Xiaojin ^{[1
]}

Zhang, Hui ^{[1
]}

Li, Lulu ^{[1
]}

机构：

[1] Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang,Sichuan,621000, China

来源：

关键词：

21;

D O I：

暂无

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学科分类号：

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引用