Purity requirement of ultra-fine cleaning

被引：0

作者：

Worsch C. ^{[1
]}

Kohl M. ^{[1
]}

Flämmich M. ^{[1
]}

机构：

[1] Vacom Vakuum Komponenten and Messtechnik GmbH, Großlöbichau

来源：

JOT, Journal fuer Oberflaechentechnik | 2019年 / 59卷

关键词：

D O I：

10.1007/S35144-019-0130-5

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Für Bauteilhersteller und Endanwender der Photonik, der Luft- und Raumfahrtindustrie sowie weiterer Branchen ist Oberflächensauberkeit heute essentiell. Diese Herausforderung kann alternativ zur Teilereinigung im eigenen Haus durch Reinigungsdienstleister gemeistert werden. Drei wichtige Schritte sind dabei erforderlich.

引用

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