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TSMC 社ホームページ
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(2018)
Magnetically Levitated Turbomolecular Pump
被引：0
作者：
Ono T.
机构：
来源：
Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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2023年
/
89卷
/
11期
关键词：
levitation control;
magnetic bearing;
magnetic levitation;
turbomolecular pump;
vacuum;
D O I：
10.2493/JJSPE.89.804
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
[No abstract available]
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页码：804 / 807
页数：3
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