Überall Vakuum …: … und häufiger HiPIMS-Technologie als gedacht

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作者：
Kleinen, Lisa
机构：
来源：
Vakuum in Forschung und Praxis | 2021年 / 33卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1002/vipr.202170401
中图分类号：
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