Impact of thermal expansion coefficient on the local tilt angle of extreme ultraviolet pellicle

被引：0

作者：

Kim, Junghwan ^{[1
]}

Kim, Haneul ^{[1
]}

Ahn, Jinho ^{[1
]}

机构：

[1] Hanyang University, Department of Material Science and Engineering, Seoul, Korea, Republic of

来源：

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials and Metrology | 2022年 / 21卷 / 01期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Thermal expansion

引用