共 5 条
- [1] Lettry J., Aguglia D., Coutron Y., Chaudet E., Dallocchio A., Et al., AIP Conf. Prof, 1515, (2013)
- [2] Kobayashi W., Nishida K., Mattei S., Et al., AIP Conf. Prof, 2011, (2018)
- [3] Chabert P., Braithwaite N., Physics of Radio Frequency Plasmas, (2011)
- [4] Nishida K., Et al., Rev. Sci. Instrum, 85, (2014)
- [5] Mattei S., Ohta M., Yasumoto M., Hatayama A., Lettry J., Grudiev A., Rev. Sci. Instrum, 85, (2014)