MOCVD法制备金属陶瓷功能梯度材料的研究

被引：4

作者：

章娴君

郑慧雯

张庆熙

王显祥

机构：

[1] 西南师范大学化学化工学院

[2] 四川农业大学生命科学与理学院重庆

[3] 重庆巴蜀中学

[4] 重庆

[5] 四川雅安

来源：

西南师范大学学报(自然科学版) | 2005年 / 04期

关键词：

功能梯度材料(FGM); 金属有机化学气相沉积(MOCVD); X射线光电子能谱(XPS); 表面形貌;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB34 [功能材料];

学科分类号：

080501 ;

摘要：

利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,以Mo(CO)6,Si(OC2H5)4为物源,在Al2O3陶瓷基片上制备了金属陶瓷功能梯度材料,并用XPS,XRD,SEM等技术对其成分分布,物相组成和表面形貌进行测试和表征.结果表明:材料的组成沿厚度方向呈连续梯度变化,符合功能梯度材料的变化规律.

引用

页码：682 / 686

页数：5

共 7 条

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郑慧雯 ;

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