Position Control in Lithographic Equipment An Enabler for Current-Day Chip Manufacturing

被引：351
作者：
Butler, Hans
机构：
来源：
IEEE CONTROL SYSTEMS MAGAZINE | 2011年 / 31卷 / 05期
关键词：
D O I：
10.1109/MCS.2011.941882
中图分类号：
TP [自动化技术、计算机技术];
学科分类号：
0812 ;
摘要：
[No abstract available]
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页码：28 / 47
页数：20
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