A 0.64mm2 Sensor Size, 32.5μg/√Hz Noise Floor, High efficiency MEMS Capacitive Accelerometer using High-voltage Pulse Excitation Technique

被引：0

作者：

Zhong, Longjie ^{[1
]}

Shang, Pengpeng ^{[1
]}

Liu, Shubin ^{[1
]}

Cao, Wenfei ^{[1
]}

Feng, Lichen ^{[1
]}

Liang, Yuhua ^{[1
]}

Zhu, Zhangming ^{[1
]}

机构：

[1] Xidian Univ, Xian, Peoples R China

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/CICC60959.2024.10528969

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页数：2