V2023 – Der Branchentreff im Herbst: Mit Vakuum-Oberflächentechnik die Kerntechnologien zukünftiger Innovationen stützen

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作者：

Klotzbach, Udo ^{[1
]}

机构：

[1] Europäischen Forschungsgesellschaft Dünne Schichten EFDS, Germany

来源：

Vakuum in Forschung und Praxis | 2023年 / 35卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1002/vipr.202370301

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

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