Research Status and Prospect on Polishing Technology of Large Size Single Crystal Diamond Substrate

被引：0

作者：

Wen, Hailang ^{[1
]}

Xiao, Ping ^{[1
]}

Lu, Jing ^{[1
]}

机构：

[1] Institute of Manufacturing Engineering, Huaqiao University, Xiamen,361021, China

来源：

Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering | 2021年 / 57卷 / 22期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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