MEMS 2021 Welcome

被引：0

作者：

Feng, Philip ^{[1
]}

Roxhed, Niclas ^{[2
]}

Zhang, Alice ^{[3
]}

机构：

[1] University of Florida, United States

[2] Kth Royal Institute of Technology, Sweden

[3] Peking University, China

来源：

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) | 2021年 / 2021-January卷

关键词：

D O I：

10.1109/MEMS51782.2021.9375379

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用