Depth sectioning using environmental and atomic-resolution STEM

被引：0

作者：

Takeguchi, Masaki ^{[1
]}

Hashimoto, Ayako ^{[1
]}

Mitsuishi, Kazutaka ^{[1
]}

机构：

[1] Center for Basic Research on Materials, National Institute for Materials Science, 1-2-1 Sengen, Ibaraki, Tsukuba,305-0047, Japan

来源：

Microscopy | / 73卷 / 02期

关键词：

Atoms - Scanning electron microscopy - Silicon nitride;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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