SCANNING MICROELLIPSOMETER FOR THE SPATIAL CHARACTERIZATION OF THIN-FILMS

被引：0
作者：
DUNLAVY, DJ
HAMMOND, RB
AHRENKIEL, RK
机构：
来源：
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS | 1981年 / 288卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O43 [光学];
学科分类号：
070207 ; 0803 ;
摘要：
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页码：390 / 394
页数：5
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共 4 条
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