DESIGN METHOD FOR SENSING BODY OF DIFFERENTIAL PRESSURE TRANSMITTER USING SILICON DIAPHRAGM-TYPE PRESSURE SENSOR (VOL 44, PG 791, 1995)

被引:0
作者
MATSUOKA, Y
YAMAMOTO, Y
TOBITA, T
SHIMADA, S
YASUKAWA, A
机构
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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共 1 条
[1]   DESIGN METHOD FOR SENSING BODY OF DIFFERENTIAL PRESSURE TRANSMITTER USING SILICON DIAPHRAGM-TYPE PRESSURE SENSOR [J].
MATSUOKA, Y ;
YAMAMOTO, Y ;
TOBITA, T ;
SHIMADA, S ;
YASUKAWA, A .
IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT, 1995, 44 (03) :791-794