AUGER ELECTRON SPECTROMETER AS A TOOL FOR SURFACE ANALYSIS (CONTAMINATION MONITOR)

被引：34

作者：

TAYLOR, NJ

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492671

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：241 / &

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