USE OF SCHOTTKY-DIODE COLLECTORS FOR SEM DETERMINATION OF BULK DIFFUSION LENGTHS

被引:42
作者
VANOPDORP, C [1 ]
PETERS, RC [1 ]
KLERK, M [1 ]
机构
[1] PHILIPS RES LABS, EINDHOVEN, NETHERLANDS
关键词
D O I
10.1063/1.1655120
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:2
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