PREPARATION AND STRUCTURAL PROPERTIES OF GAN THIN FILMS

被引:64
作者
KOSICKI, BB
KAHNG, D
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1315693
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:593 / &
相关论文
共 15 条