FRICTION AND WEAR RESULTS FROM WC+CO COATINGS BY -DC-BIASED RF SPUTTERING IN A HELIUM ATMOSPHERE

被引：15

作者：

ESER, E ^{[1
]}

OGILVIE, RE ^{[1
]}

TAYLOR, KA ^{[1
]}

机构：

[1] CHARLES STARK DRAPER LAB INC,CAMBRIDGE,MA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569557

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：401 / 405

页数：5