CATHODIC SPUTTERING FOR MICRO-DIFFUSION STUDIES

被引：22
作者：
FISHER, TF
WEBER, CE
机构：
来源：
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1952年 / 23卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1702170
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：181 / 183
页数：3
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