DETERMINATION OF SILICON DIOXIDE IN SILICON-CARBIDE BY PHOTOACOUSTIC INFRARED FOURIER-TRANSFORM SPECTROMETRY

被引：5
作者：
TSUGE, A
UWAMINO, Y
ISHIZUKA, T
机构：
[1] Government Industrial Research Inst, Nagoya, Jpn, Government Industrial Research Inst, Nagoya, Jpn
来源：
APPLIED SPECTROSCOPY | 1988年 / 42卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1366/0003702884428707
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
8
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页码：168 / 170
页数：3
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