THICKNESS DETERMINATION OF ULTRATHIN METAL-FILMS USING THE X-RAY-FLUORESCENCE TECHNIQUE

被引：6
作者：
KAUSHIK, DK
SINGH, SP
BHAN, C
CHATTOPADHYAYA, SK
NATH, N
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1980年 / 67卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(80)90469-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：353 / 356
页数：4
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共 1 条
[1]   THICKNESS MEASUREMENTS OF SINGLE AND COMPOSITE THIN METAL-FILMS USING THE X-RAY-FLUORESCENCE TECHNIQUE [J].
SINGH, SP ;
KAUSHIK, DK ;
CHATTOPADHYAYA, SK ;
NATH, N .
THIN SOLID FILMS, 1979, 59 (01) :51-55
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