CHEMISORPTION OF SILANES ON THE SI(111)-(7X7) SURFACE

被引：26

作者：

GATES, SM

SCOTT, BA

BEACH, DB

IMBIHL, R

DEMUTH, JE

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574648

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：628 / 630

页数：3

共 6 条

[1] HYDROGEN ADSORPTION ON SI(111)-(7X7) [J].

CULBERTSON, RJ ;

FELDMAN, LC ;

SILVERMAN, PJ ;

HAIGHT, R .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1982, 20 (03) :868-871

[2]

ERTL G, 1979, SURF SCI, V89, P361

[3]

FAARNAM MK, 1984, SURF SCI, V145, P390

[4]

IMBIHL R, UNPUB

[5]

MEYERSON BS, 1986, CHEMTRONICS, V1, P166

[6] PYROLYSIS OF MONOSILANE [J].

PURNELL, JH ;

WALSH, R .