INFRARED REFLECTANCE SPECTROSCOPY OF VERY THIN-FILMS OF A-SIH

被引:22
作者
MALEY, N [1 ]
SZAFRANEK, I [1 ]
MANDRELL, L [1 ]
KATIYAR, M [1 ]
ABELSON, JR [1 ]
THORNTON, JA [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS,COORDINATED SCI LAB,URBANA,IL 61801
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(89)90100-2
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:163 / 165
页数:3
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