BEO SUPPORTING FILMS FOR HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPY

被引:5
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作者
MIHAMA, K [1 ]
SHIMA, S [1 ]
UYEDA, R [1 ]
机构
[1] NAGOYA UNIV,FAC ENGN,DEPT APPL PHYS,NAGOYA,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.13.377
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:377 / 378
页数:2
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