SURFACE PROFILE MEASUREMENT USING THE CONFOCAL MICROSCOPE

被引：67
作者：
HAMILTON, DK
WILSON, T
机构：
来源：
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1982年 / 53卷 / 07期
关键词：
D O I：
10.1063/1.331391
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：5320 / 5322
页数：3
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共 4 条
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