OPTICAL METHODS FOR MEASURING THE SIZES OF PATTERN ELEMENTS IN LSI AND VLSI INTEGRATED-CIRCUITS

被引：0
作者：
VOLKOV, VV
GERASIMOV, LL
KAPAEV, VV
LARIONOV, YV
RAKOV, AV
机构：
来源：
SOVIET MICROELECTRONICS | 1980年 / 9卷 / 06期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
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页码：297 / 305
页数：9
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