ELLIPSOMETRIC INVESTIGATIONS OF BORON-RICH LAYERS ON SILICON

被引：39

作者：

BUSEN, KM

FITZGIBBONS, WA

TSANG, WK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2411139

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：291 / +

页数：1

共 11 条

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