ELECTRON BEAM DETECTION OF CHARGE STORAGE IN MOS CAPACITORS

被引:7
作者
HUBER, EE
COHEN, MS
SMITH, DO
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1653137
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:147 / &
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