BINARY STATES IN INTEGRATED-CIRCUITS INVESTIGATED BY LASER SCANNING MICROSCOPY WITH OPTICAL BEAM INDUCED CURRENT

被引：0
作者：
BERGNER, H
DAMM, T
机构：
来源：
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1989年 / 115卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1002/pssa.2211150231
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：607 / 615
页数：9
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