LOW-TEMPERATURE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF EPITAXIAL GAAS USING A COORDINATION COMPOUND - MONOCHLORODIETHYLGALLIUM-TRIETHYLARSINE

被引:0
|
作者
CONSTANT, G [1 ]
LEBUGLE, A [1 ]
MONTEL, G [1 ]
ZAOUK, A [1 ]
机构
[1] ECOLE NATL SUPER CHIM,CRISTALLOCHIM REACTIVITE & PROTECT MAT LAB,EQUIPE RECH 263,F-31077 TOULOUSE,FRANCE
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:C351 / C351
页数:1
相关论文
共 50 条