STUDY OF ULTRA-THIN COPPER-FILMS BY SURFACE REFLECTANCE SPECTROSCOPY

被引:3
作者
BORENSZTEIN, Y
VUYE, G
机构
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(85)91011-8
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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