ELLIPS - FORTRAN SIMULATION OF A POLARIZATION-MODULATION ELLIPSOMETER

被引：8

作者：

BERMUDEZ, VM ^{[1
]}

机构：

[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0010-4655(77)90015-7

中图分类号：

TP39 [计算机的应用];

学科分类号：

081203 ; 0835 ;

摘要：

引用

页码：207 / 224

页数：18

共 19 条

[11] CORRECTION [J].

JASPERSON, SN ;

SCHNATTERLY, SE .

[12]

JASPERSON SN, 1969, THESIS PRINCETON U

[13] ANALYSES AND CORRECTIONS OF INSTRUMENTAL ERRORS IN ELLIPSOMETRY [J].

MCCRACKIN, FL .

[14] PRESENT STATUS OF AUTOMATIC ELLIPSOMETERS [J].

MULLER, RH .

[15] DEFINITIONS AND CONVENTIONS IN ELLIPSOMETRY [J].

MULLER, RH .

OHANDLEY, RC .

TREU, JI ;

CALLENDER, AB ;

SCHNATTERLY, SE .

[18] DIFFERENTIAL ELLIPSOMETER [J].

TREU, JI .

[19]

[No title captured]