PROCESS OPTIMIZATION TWEAKING TOOL (POTT) AND ITS APPLICATION IN CONTROLLING OXIDATION THICKNESS

被引：10

作者：

GULDI, RL

JENKINS, CD

DAMMINGA, GM

BAUM, TA

FOSTER, TA

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING | 1989年 / 2卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/66.24929

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：54 / 59

页数：6

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