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SHALLOW SILICIDE CONTACT
被引：73
作者：
TU, KN
HAMMER, WN
OLOWOLAFE, JO
机构：
关键词：
D O I：
10.1063/1.327773
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：1663 / 1668
页数：6
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