ULTRA FINE FINISHING OF DIAMOND TOOLS BY ION-BEAMS

被引：23

作者：

MIYAMOTO, I

机构：

[1] Univ of Warwick, Coventry, Engl, Univ of Warwick, Coventry, Engl

来源：

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING | 1987年 / 9卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0141-6359(87)90056-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：71 / 78

页数：8