PARALLEL MOVEMENT FOR HIGH FINESSE INTERFEROMETRIC SCANNING

被引:15
作者
BRADLEY, DJ
机构
来源
JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1962年 / 39卷 / 02期
关键词
D O I
10.1088/0950-7671/39/2/301
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页码:41 / &
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共 13 条
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