STANDARDIZED TERMINOLOGY FOR OXIDE CHARGES ASSOCIATED WITH THERMALLY OXIDIZED SILICON

被引:155
作者
DEAL, BE
机构
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1980.19908
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:606 / 608
页数:3
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共 4 条
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[No title captured]