SEM CHARACTERIZATION OF ELECTRICAL-PROPERTIES OF DEFECTS IN SEMICONDUCTORS

被引:0
作者
KIMERLING, LC [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
来源
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 1977年 / 174卷 / SEP期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:123 / 123
页数:1
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