PROPERTIES OF HIGH-PURITY SILICON EPITAXIAL LAYERS

被引：0

作者：

SUZUKI, T ^{[1
]}

URA, M ^{[1
]}

OGAWA, T ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,HITACHI RES LAB,HITACHI,IBARAKI,JAPAN

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1973年 / 120卷 / 03期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：C95 / &

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