A HIGH-SPEED, LOW-POWER BURIED-OXIDE SOI CMOS TECHNOLOGY

被引:0
作者
COLINGE, JP
KAMINS, TI
CHIANG, SY
LIU, D
PENG, S
RISSMAN, P
HASHIMOTO, K
机构
[1] HEWLETT PACKARD CO,LABS,PALO ALTO,CA 94304
[2] TOSHIBA CORP,CTR RES & DEV,KAWASAKI 210,JAPAN
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1986.22768
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1842 / 1842
页数:1
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共 1 条
[1]   LATERAL DOPANT DIFFUSION IN IMPLANTED BURIED-OXIDE STRUCTURES [J].
KAMINS, TI ;
CHIANG, SY .
APPLIED PHYSICS LETTERS, 1985, 47 (11) :1197-1199